规范
B1500A半导体器件参数分析仪(安捷伦)
安捷伦B1500A精密电流电压分析仪系列半导体器件分析仪是一款支持IV的全合一分析仪, CV, 脉冲/动态IV和更多, 哪一个是为从基础到尖端应用的全方位特性设计的. 它提供了广泛的测量能力，涵盖了器件的电气特性和评估, 材料, 半导体, 主动/被动元件, 或几乎任何其他类型的电子设备具有无与伦比的测量可靠性和效率. 除了, B1500A的模块化架构具有十个可用插槽，如果您的测量需求随时间变化，您可以添加或升级测量模块.
测量功能
- 现场电流-电压(IV)测量能力, 扫描, 采样和脉冲测量范围在0.1fa - 1a / 0.5µv - 200v
- 交流电容测量在多频率从1khz到5mhz和准静态电容-电压(QS-CV)测量能力
- 先进的脉冲IV和超快速IV测量能力，最小5 ns采样间隔(200 MSa/s)
- 高达40 V的高压脉冲强迫非易失性存储器评估
附加功能
- 可配置和可升级的测量模块，最多10个插槽在一个盒子里
- 15英寸宽触摸屏，支持EasyEXPERT组+直观的GUI操作
- Windows嵌入式标准7 (WES7)
- GPIB, USB, LAN接口，VGA视频输出接口
主机的功能
- 基于pc的仪器，使用微软Windows操作系统和EasyEXPERT软件
- 电流-电压(IV)单箱解决方案, capacitance-voltage(简历), 脉冲的一代, 快四, 时域测量.
- 10个模块插槽用于源监控单元(smu)和其他模块类型(MFCMU, HV-SPGU和WGFMU)
- 通过桌面EasyEXPERT软件进行离线数据分析和应用测试开发
多位置硅片四点探头(Jandel)
多位置晶圆探头具有探测1的能力, 5, 9, 或者在多个晶圆上有更多的位置，从晶圆到晶圆的定位可重复性为1mm. 它不是电动的，但需要用户用手移动晶圆台. 它配备了一个6″(150mm)晶圆卡盘.
多位置晶圆探头规格
- 晶圆夹头-硬阳极氧化铝合金真空保持, 定心凹槽, 镊子槽口为:6型″- 3型″, 4″, 5个″和6个″晶圆片.
- 预设测量位置:中心和四个半径直角15,20,25,35,50,60mm